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純水設(shè)備是一項由多種相關(guān)技術(shù)的集成,如機械過濾技術(shù)、化學(xué)吸附技術(shù)、熱沸蒸餾技術(shù)、紫外殺菌技術(shù)以及膜濾技術(shù)等。特別應(yīng)提出的是離子交換樹脂(以下簡稱樹脂)的出現(xiàn),對制備純水具有劃時代的里程碑意義。離子交換把人的視野帶進了微觀世界,應(yīng)用樹脂的神奇特性,能對水進行深度提純,能制取18M的高純水,這是其它方法無可比擬的。當(dāng)今已成為世界各國制取純水的重要手段,樹脂應(yīng)用技術(shù)已成為一個國家工業(yè)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。
水是工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的基礎(chǔ)原料,但是,天然水不論是江河湖?;蚴翘旖邓?、地下水,都不同程度地含有多種雜質(zhì),如化學(xué)雜質(zhì)(無機鹽、有機物質(zhì)等)、微生物雜質(zhì)(細菌、病毒等)和固狀雜質(zhì)(如泥沙、顆粒物等)。因此,大多不能直接用于生產(chǎn),需要進行純化處理,如沉淀、過濾、蒸餾以及化學(xué)置換與吸附等,使水達到生產(chǎn)要求,這就是水處理工業(yè)的由來。
純水設(shè)備對微粒、細菌、總有機碳等有害雜質(zhì)的控制極其嚴(yán)格,要求水質(zhì)接近理論純,水的電阻率達18MQ'cm。國內(nèi)外把這種高質(zhì)量的純水稱為超純水。七十年代國外在超純水制備中采用了反慘透技術(shù),并輔以離子交換、微過濾、紫外殺菌等方法,使超純水的質(zhì)量水平有很大的提高,有力地保證了集成電路工業(yè)發(fā)展的需要。
反滲透是一種新型的隔膜分離技術(shù),它具有脫鹽率高,產(chǎn)水量大、脫除水中的微粒、二氧化硅和細商的效果好等優(yōu)點,在超純水制備中得到廣泛的應(yīng)用.電子工業(yè)的超純水通常使用的反滲透膜有聚酷股膜、醋酸纖維素膜及復(fù)合薄膜.以下分別介紹它們的特性、參數(shù)及使用中要注意的一些問題。
超純水設(shè)備產(chǎn)品說明:
導(dǎo)體芯片廠超純水 TOC<10ppb 顆粒度(PARTICLE)達0.5um≤200PCS/L 二氧化硅SiO2<5ppb 電阻率≥18MΩ.cm(25℃) 采用高純度PVDF管路
封裝測試行業(yè)及相關(guān)行業(yè)超純水 TOC<50ppb 顆粒度(PARTICLE)達到0.2um<3-5PCS/ML 二氧化硅SiO2<10ppb 電阻率≥16MΩ.cm(25℃)
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